Что такое куб ниобия в отожженном-состоянии?
Что касается ниобиевого куба в отожженном-состоянии, то после холодной обработки и резки ниобиевый куб сохранит большое количество внутренних напряжений при резке, дислокаций решетки, примесей адсорбции водорода-кислорода и т. д.;
Чтобы решить эту проблему и устранить эти проблемы, ниобиевый куб подвергается обработке в отожженном-состоянии. Ниобиевый куб в отожженном-состоянии — это готовый куб, находящийся в высоком вакууме/в атмосфере водорода высокой{3}}чистоты, который подвергается термообработке с выдержкой температуры при температуре 800–1250 градусов-, медленному-охлаждению с контролируемой температурой, завершению четырех процессов: снятия напряжений, рекристаллизации, вакуумной дегазации, восстановления поверхности и удаления оксидов, а затем становится мягким-испаренным материалом. Это марка, предназначенная для OLED, оптики и высококлассных полупроводниковых покрытий, полученных методом испарения. В отличие от не-отожженного ниобиевого куба в холодном-закаленном состоянии.
Стандартный процесс отжига (отожженные кубы с вакуумным покрытием)
1. Атмосфера: вакуумный отжиг (лучше 1×10⁻³ Па) или яркий отжиг в водороде высокой-чистоты; Изолировать от воздуха, чтобы предотвратить поглощение и окисление кислорода при высоких температурах.
2. Диапазон температур
◦ Отжиг для снятия напряжений: 800–900 градусов, устраняет напряжение резания, удаляет адсорбированный на поверхности водород и водяной пар.
◦ Полный рекристаллизационный отжиг: 1050–1300 градусов, уточнение размера зерна, полное удаление решеточных примесей.
3. Процесс: выдержка при высокой- температуре → Медленное охлаждение с контролируемой градиентной температурой → Охлаждение до комнатной температуры в печи → Обезжиривание и очистка → Вакуумная упаковка.
Преимущества кубического сердечника из отожженного ниобия (решение проблем вакуумного покрытия)
1. Полностью удалите внутренние газы с чрезвычайно низким объемом выпуска газа из полости, обеспечивая высокую стабильность вакуума. При холодной обработке ниобия внутренняя решетка сохраняет H₂, N₂ и следовые количества водяного пара. Во время высокотемпературной бомбардировки электронным пучком- происходит непрерывный газовый разряд, вызывающий колебания уровня вакуума в полости и появление точечных отверстий, помутнения и цветовых различий на пленке.
Глубокая дегазация завершается при высоко-температурном отжиге: выделяется большое количество водорода, адсорбированной воды и газов-примесей внедрения, что значительно снижает пиковую дегазацию процесса вакуумного испарения, поддерживает стабильный вакуум в полости и значительно улучшает выход много-слойных оптических пленок и полупроводниковых барьерных слоев.
2. Устраните остаточное напряжение при резке, отсутствие растрескивания и разбрызгивания во время-высокотемпературного испарения. Неотожженный холодно-закаленный ниобий имеет концентрированное внутреннее напряжение. Во время локального высокотемпературного-нагрева электронным лучом напряжение снимается, что приводит к растрескиванию частиц и разбрызгиванию мусора, загрязнению тигля и подложки, вызывающему внезапные изменения толщины пленки и ускорению потери материала мишени. После отжига решетка меняет конфигурацию и напряжение полностью снимается, что делает материал более мягким и пластичным; при длительной -высоко- бомбардировке электронным лучом весь материал равномерно нагревается, без растрескивания или фрагментации, а скорость испарения линейно стабильна, с постоянной повторяемостью и постоянством толщины пленки, что подходит для линий непрерывного производства панелей.
3. Удалите поверхностный оксидный слой, уменьшив примеси кислорода в пленке. Ниобий при комнатной температуре легко образует следы оксидного слоя Nb₂O₅. Испарение неотожженного сырья вызывает одновременное испарение оксидов, что приводит к избыточному содержанию кислорода в пленке металлического ниобия и снижению проводимости; при изготовлении оптических пленок Nb₂O₅ наблюдаются флуктуации показателя преломления и спектральный сдвиг. Водородный отжиг может восстановить поверхностный оксидный слой, вакуумный отжиг обеспечивает равномерную диффундацию поверхностного кислорода в подложку, в результате чего получается чистая поверхность без слоя свободного оксида, контролируемое содержание примесей в испаряемой пленке, высокая стабильность оптических параметров и параметров проводимости партии, а также пригодность для высокоточного-оптического покрытия и осаждения полупроводниковой пленки.
4. Равномерное измельчение зерна, равномерная теплопроводность, стабильная и контролируемая скорость испарения. Зерна холодного-обработанного ниобия искажены и неравномерны по размеру, со значительными различиями в локальной теплопроводности. При бомбардировке электронным пучком происходит локальное переплавление или недостаточное испарение; после отжига рекристаллизация завершается, образуя равноосную мелкозернистую-структуру со сбалансированной теплопроводностью в кубических частицах, и вся партия материалов в тигле испаряется одновременно, что устраняет необходимость частой регулировки мощности электронного луча, снижает затраты на отладку процесса и подходит для высокоточного-оптического покрытия и осаждения полупроводниковых пленок.
5. Устойчив к ползучести при высоких-температурах, не склонен к разрушению или деформации во время длительного-испарения. Отожженный ниобий обладает улучшенной пластичностью и более высокой-структурной стабильностью при высоких-температурах. Тигель не размягчается, не разрушается и не образует комков после длительного-выдерживания при высоких-температурах, а плотность заполнения остается неизменной, что снижает частоту простоев машины для пополнения материала и повышает коэффициент использования производственной линии; по сравнению с твердым ниобием срок службы непрерывного испарения увеличивается более чем на 30%.
Если у вас есть изделия из отожженного ниобия, такие как стержень, пластина, куб или чертеж с особыми потребностями, свяжитесь с нами.
Наш адрес
Город Баоцзи, провинция Шэньси, Китай.
Номер телефона
0086-18291730106
Электронная-почта
