Запрос от клиента Aisa
Сегодня утром мы получили предложение через веб-сайт нашей компании, клиент приехал с азиатского рынка и заинтересован в нашей продукции в отношении мишеней для радиочастотного (РЧ) распыления молибдена высокой чистоты.
Спецификация продукта заказчика представляет собой металлическую мишень из молибдена диаметром 50,8 мм (2 дюйма) и толщиной 5 мм с чистотой 99,95% (3N5).
Форма мишени для распыления молибдена, которую он спросил, представляет собой плоскую круглую мишень из молибдена, это наиболее распространенная форма мишени из молибдена круглой формы.
И его запрос на плоскостность был плоскостностью менее или равной 0,05 мм, а также требовалась гладкая поверхность, подходящая для радиочастотного магнетронного распыления; И никаких трещин, пор на поверхности или окисления по запросу.
Какие целевые продукты из чистого молибдена мы можем предложить?
• Чистота: 3N5 (чистота 99,95%) - 4N (чистота 99,99%).
- Mo1: содержание молибдена больше или равно 99,95 % (3N5), в основном используется в промышленности, например, в дисплеях, фотогальванике или обычных покрытиях.
- Mo2: не менее 99,9 % Mo (3N), основное применение с точки зрения затрат-эффективно, для обычных покрытий/декоративных пленок.
- Mo3: больше или равно 99,5 % Mo (2N5), широко используется в бюджетных-технических и исследовательских приложениях.
- Высокая/сверхвысокая чистота (4N молибден: 99,99%), в основном используется для полупроводниковых/OLED/высоко-прецизионных пленок
Основные физические свойства (наиболее важные)
• Плотность: 10,2 г/см³ (теоретическая), мало пор, сложно произвести «распыление порошка» и аномальный разряд (дуга).
• Точка плавления: 2620 градусов, чрезвычайно стабильна термически; и не легко деформируется во время напыления с сильной адгезией.
• Теплопроводность: 138–142 Вт/(м·К), быстрый отвод тепла, подходит для распыления высокой-мощности.
• Коэффициент теплового расширения: ~4,9×10⁻⁶/градус, очень низкий, что может привести к минимальному термическому удару и стабильности размеров.
• Удельное сопротивление: ~5,2 мкОм·см, очень хорошая электропроводность и стабильное искрение.
• Предел прочности ~540 МПа.
. Твердость по Виккерсу ~250 HV, с определенной пластичностью. Преимущества процесса и тонких пленок.
• Целевые зерна 50–100 мкм, обеспечивающие равномерную распылительную эрозию и минимальное высыпание частиц.
Нормальный допуск на размер нашего продукта варьируется в зависимости от диаметра следующим образом:
| Диаметр | Толщина |
| φ25.4(1") | 2/3 |
| φ50.8(2") | 3/5 |
| φ76.2(3") | 3/4/5 |
| φ101.6 | 4/5/6 |
| φ150 | 5/6/8 |
| φ200 | 6/8/10 |
Обратите внимание: толщина φ300 - 8/10/12 мм или по индивидуальному заказу.
Допуски размеров (GB/T 14592-2014 + отраслевой стандарт)
| Диапазон диаметров | Допуск диаметра (мм) |
| φ10-30 | ±0.10 |
| φ30-50 | ±0.14 |
| φ50-80 | ±0.16 |
| φ80-300 | ±0.20 |
Please note : >φ300: ±0,30 (по договоренности)
Допуски формы и положения (важный критерий, влияющий на однородность распыления)
•Плоскостность молибденового диска: менее или равна 0,03 мм/100 мм (высокий-конечный предел); Меньше или равно 0,1 мм/100 мм (стандартно)
• Округлость: меньше или равна 0,05 мм.
• Параллельность: меньше или равна 0,05 мм.
Шероховатость поверхности чистого молибдена
• Стандарт: Ra Меньше или равно 0,8 мкм.
• Верхний-конечный предел: Ra меньше или равно 0,4 мкм (полупроводники/высокие требования к однородности).
Часто задаваемые вопросы
Кроме мишени для распыления молибдена, которую вы можете предоставить, можно использовать и другие материалы?
Да, у нас есть вольфрам, молибден, титан, тантал, ниобий, цирконий, никель и т. д. цветные металлы.
